演讲摘要：
1、TFT工艺介绍
2、洁净室洁净度等级及参数要求
3、洁净室的结构形式
4、建设项目的系统组成
5、空调净化系统
6、节能设计

1、 Introduction to TFT process
2、 Cleanness classification and requirments of cleanrooms
3、 Structure of cleanrooms
4、 System configurations
5、 HVAC systems
6、 Energy saving design

讲演者简介：
周晓伟，世源科技工程有限上海分公司（原中国电子工程设计院），高级工程师，项目经理。一直从事电子洁净厂房的设计工作，参与及负责很多相关晶圆厂、TFT厂洁净室项目的设计及规划。

E-mail: zhouxiaowei@ceedi.com.cn