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B6 September 21, 15:15pm-16:15pm
8″、12″半导体厂房洁净室设计及节能措施
200mm & 300mm Fab Cleanroom Design & Saving Energy & Method |
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秦学礼， 总工程师
中国电子工程设计院
Qin Xueli， Chief Engineer
China Electronics Engineering Design Institute |
发言内容摘要
主要有以下五个内容：
1）洁净室形式
2）洁净室空气处理及温湿度保证
3）洁净室内分子级污染物（AMC）控制
4）洁净室排烟问题
5）洁净室节能措施
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发言者简介
1985年参加工作，高级工程师，长期从事空调、净化设计。近几年担任多个IC和TFT项目的设计专业负责人和项目经理，在IC和TFT类厂房洁净室积累一定的设计经验，参与编写《洁净厂房设计与施工》一书，是“通风与空调工程施工质量验收规范”主要起草人，目前正参与起草《电子工厂洁净厂房设计规范》与《洁净厂房施工验收规范》。现任中国电子工程设计院副总工程师，世源科技工程有限公司总工程师，中国电子学会洁净技术分会副主任委员。 |
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