发言内容摘要
基于国内将要成为主流的130nm及130nm以下制程，本文主要介绍以下内容：
1.空气中分子级污染物（AMC）的概念范围；
2.基于130nm制程的洁净室分子污染的整体控制方案；
3.分子过滤系统和分子过滤器的的评价；
4.正确理解分子过滤器的功能和性能指标；
5.测试分析系统简介及其必要性。

由于AMC是近年来兴起的一个重要的课题,并且涉及到化学和动力学的综合掌握运用，负责洁净室系统的厂务或动力部门往往在初遇相关问题时很难在这个突如其来的挑战面前短时间内找到最佳方案。本文针对上述现状，提出AMC控制的基本理念和分子过滤器的评价系统。而130nm及以下制程的发展对AMC提出了更高的控制要求，分子过滤系统也被提升到更高的高度，不仅参与MAU，RAH和FFU的过滤系统, 更融入了tool mini-environment（包括SMIF loader），本文所提供的正确的运用分子过滤系统为FAB提高良率和避免不必要的wafer loss和scrap提供重要的保障。同时，测试系统的高要求和必要性也日益突出。一个过滤器供应商的测试能力一定程度上体现了其研发能力和综合实力。